一臺覆蓋全真空區(qū)間｜日本 VISTA CC-10-NW25 一體式寬量程壓力真空計

發(fā)布日期：2026-08-04      瀏覽次數(shù)：79

一、開篇導(dǎo)語

在真空腔體運(yùn)維、半導(dǎo)體制程、光學(xué)鍍膜、熱處理真空爐、科研實(shí)驗場景中，傳統(tǒng)方案需要搭配皮拉尼粗真空計、熱陰極1高真空規(guī)、大氣壓壓力開關(guān)多支儀表組合監(jiān)測，管路開孔多、布線繁雜、多點(diǎn)校準(zhǔn)成本高、燈絲易燒毀故障頻發(fā)。日本 VISTA 原裝 CC-10-NW25 寬量程復(fù)合真空計，采用水晶振子 + 冷陰極離子規(guī)一體化復(fù)合傳感結(jié)構(gòu)，單一 KF-NW25 法蘭接口，實(shí)現(xiàn)1×10??Pa～1×10?Pa（大氣壓至超高真空）無斷點(diǎn)連續(xù)自動測量，整機(jī)集成顯示、繼電器控制點(diǎn)、模擬量與數(shù)字通訊輸出，一站式替代多規(guī)格真空儀表組合，是日系高1端真空設(shè)備標(biāo)配級壓力監(jiān)測核心部件，原廠持續(xù)量產(chǎn)供貨，無停產(chǎn)斷供風(fēng)險，適配新設(shè)備配套、老舊真空設(shè)備改造升級兩大核心場景。

二、產(chǎn)品核心硬核優(yōu)勢（CC-10-NW25 法蘭款）

1. 超寬量程無縫切換，單臺搞定全流程真空監(jiān)測

摒棄分段式真空計組合方案，設(shè)備從腔體破真空、粗抽、高真空抽到超高真空維持全工序，無需手動切換傳感器。

• 大氣壓～1Pa 區(qū)間：高精度水晶振子傳感器，對比傳統(tǒng)皮拉尼、熱電偶真空計，溫漂更小、長期穩(wěn)定性強(qiáng)，能大氣壓下讀數(shù)精準(zhǔn)，完1美適配腔體充氣、破空閥聯(lián)鎖控制；

• 1Pa～10??Pa 超高真空區(qū)間：冷陰極離子規(guī)，無高溫?zé)艚z結(jié)構(gòu)，杜絕燈絲燒斷、氧化損耗問題，耐油污、耐沖擊、耐突發(fā)大氣沖擊，惡劣真空工況使用壽命遠(yuǎn)超熱陰極規(guī)管。

  單一 NW25 真空接口接入腔體，即可完成全過程壓力采集，減少腔體開孔、密封泄漏隱患，大幅降低真空腔體加工成本。

2. 一體式集成設(shè)計，接線安裝極簡，節(jié)省機(jī)柜空間

整機(jī)傳感器、主控電路板、數(shù)碼顯示屏高度集成，僅需接入 DC24V 供電即可上電工作，開機(jī)自動識別真空區(qū)間、自動切換傳感模式、實(shí)時壓力數(shù)值直顯：

• 標(biāo)配 3 路獨(dú)立繼電器設(shè)定點(diǎn)輸出：可直接聯(lián)動粗抽泵、分子泵、擋板閥、破空閥自動邏輯控制，無需額外加裝壓力控制器；

• 信號輸出齊全：0–10V 模擬量變送 + RS485 工業(yè)總線通訊，無縫對接 PLC、工控機(jī)、上位機(jī)數(shù)據(jù)采集；

• KF-NW25 標(biāo)準(zhǔn)快拆法蘭：真空行業(yè)通用法蘭規(guī)格，密封圈拆裝便捷，兼容絕大多數(shù)真空腔體、管道標(biāo)準(zhǔn)接口，改造替換即裝即用。

3. 堅固耐用，工況適應(yīng)性拉滿，維護(hù)門檻極低

1. 冷陰極無燈絲結(jié)構(gòu)核心優(yōu)勢：無易損發(fā)熱燈絲，面對腔體輕微返大氣、工藝氣體雜質(zhì)、油氣污染工況不易損壞，適合鍍膜機(jī)、真空燒結(jié)爐、釬焊爐等重工藝場景長期連續(xù)運(yùn)行；

2. 可烘烤適配：拆除電控模組后，傳感腔體支持 150℃高溫烘烤除氣，滿足超高真空腔體潔凈工藝要求；

3. 免工具快速拆裝維護(hù)：傳感腔體 1 分鐘即可拆解清潔、除垢、更換密封件，現(xiàn)場工程師可自主完成保養(yǎng)，無需返廠維修，停機(jī)維護(hù)時間大幅壓縮；

4. 整機(jī)輕量化（不足 1kg），既可以固定腔體長期裝配，也可搭配電源適配器作為便攜式真空巡檢儀表使用，設(shè)備點(diǎn)檢、檢漏現(xiàn)場隨測隨用。

4. 數(shù)字化拓展能力，適配工業(yè) IoT 智能化升級

選配原廠 DS-10 外置數(shù)顯表頭、P-LOGGER 壓力記錄軟件：

• 上位機(jī)實(shí)時壓力曲線繪制、真空抽氣曲線全程 CSV 存儲歸檔；

• 支持 16 臺 CC-10 組網(wǎng)集中監(jiān)控，壓力異常超限郵件告警；

• 真空設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)可視化，用于制程工藝復(fù)盤、設(shè)備健康狀態(tài)預(yù)判，適配半導(dǎo)體智能制造、自動化產(chǎn)線數(shù)字化改造需求。

5. 合規(guī)品質(zhì)保障，日系原廠穩(wěn)定供貨

整機(jī)通過 CE、RoHS 環(huán)保認(rèn)證，日本 VISTA 原廠定型量產(chǎn)型號，米思米日本現(xiàn)貨常備，國內(nèi)日系真空設(shè)備代理商穩(wěn)定進(jìn)口備貨，區(qū)別于停產(chǎn)老舊真空計無配件窘境，長期備件、技術(shù)資料、原廠 TDS 規(guī)格書完整可查，設(shè)備生命周期售后無憂。

三、核心技術(shù)規(guī)格（CC-10-NW25）

表格

項目	參數(shù)詳情
測量量程	1×10?? Pa ～ 1×10? Pa（大氣壓至超高真空全域）
傳感結(jié)構(gòu)	水晶振子（粗真空段）+ 冷陰極離子規(guī)（高真空段）復(fù)合式
安裝法蘭	KF NW25 標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭
供電電壓	DC24V
本地顯示	機(jī)身集成數(shù)碼壓力顯示屏
開關(guān)控制點(diǎn)	3 組可編程繼電器觸點(diǎn)
模擬輸出	0–10V DC 線性壓力輸出
數(shù)字通訊	RS485（Modbus 協(xié)議適配）
烘烤溫度	腔體最高 150℃（拆卸電路部分）
整機(jī)重量	約 0.95kg
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)	CE 認(rèn)證、RoHS 合規(guī)

四、主流行業(yè)應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體晶圓制程設(shè)備

晶圓濺射、刻蝕腔體、真空清洗機(jī)、薄膜沉積設(shè)備腔體真空閉環(huán)監(jiān)測，精準(zhǔn)控制工藝真空閾值，保障鍍膜均勻性、良率穩(wěn)定，依托 RS485 總線接入半導(dǎo)體設(shè)備上位機(jī)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)工藝參數(shù)全鏈路追溯。

2. 光學(xué)真空鍍膜行業(yè)

手機(jī)鏡頭、光學(xué)鏡片、裝飾鍍膜、AR/VR 鏡片蒸鍍機(jī)，腔體破空、預(yù)抽、工藝真空分段聯(lián)鎖控制，冷陰極傳感器耐受鍍膜粉塵、蒸發(fā)氣體污染，減少規(guī)管頻繁更換成本。

3. 工業(yè)熱處理真空設(shè)備

真空釬焊爐、真空退火爐、燒結(jié)爐、滲碳真空爐，高溫爐膛全程壓力監(jiān)控，繼電器直接聯(lián)動真空泵組啟停，避免爐膛氧化、脫碳報廢，適配高溫重載工業(yè)爐長期連續(xù)作業(yè)。

4. 科研實(shí)驗室與精密測試設(shè)備

超高真空實(shí)驗腔體、電子束設(shè)備、檢漏測試平臺、材料表征真空腔體，單儀表實(shí)現(xiàn)從大氣到超高真空全過程數(shù)據(jù)記錄，搭配數(shù)據(jù)記錄軟件完成實(shí)驗曲線留存。

5. 老舊真空設(shè)備技改替換

進(jìn)口日系真空設(shè)備（ULVAC、ANELVA 等機(jī)型）老舊多支真空計改造，直接替換原有多點(diǎn)位傳感器，腔體只保留一處 NW25 接口，簡化管路、線路布局，降低設(shè)備故障率與備件庫存種類。

五、選型價值總結(jié)

1. 降本：1 臺 CC-10-NW25 替代粗真空計 + 高真空規(guī) + 壓力開關(guān) 3 套儀表，硬件采購、腔體加工、布線成本直接縮減；

2. 增效：無燈絲易損件，維護(hù)周期延長 3–5 倍，快速拆裝保養(yǎng)減少產(chǎn)線停機(jī)；

3. 省心：全自動量程切換，無需人工干預(yù)壓力監(jiān)測，聯(lián)鎖控制穩(wěn)定可靠；

4. 適配廣：標(biāo)準(zhǔn) NW25 法蘭 + 標(biāo)準(zhǔn)化信號輸出，新機(jī)配套、舊機(jī)改造雙向適配；

5. 供貨穩(wěn)：原廠現(xiàn)役主力型號，無停產(chǎn)風(fēng)險，長期備件與技術(shù)服務(wù)有保障。